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ATO透明導(dǎo)電薄膜的研究進展

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概述了國內(nèi)外摻銻氧化錫（ATO）透明導(dǎo)電薄膜制備技術(shù)的研究現(xiàn)狀，包括溶膠凝膠法、射頻磁控濺射法、噴霧熱解法、化學(xué)氣相沉積法等，對比分析了各種制備方法的優(yōu)缺點和及其所制備薄膜的性能。

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