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ZrW2O8薄膜的制備及熱膨脹性質(zhì)

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采用溶膠-凝膠技術結合退火工藝在Pt（111）/Ti/SiO2/Si（100）基片上制備ZrW2O8薄膜，并研究了退火溫度

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關鍵字：ZrW2O8 薄膜 制備