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直流濺射法制備納米金的工藝及形成機制

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利用直流建設儀制備了納米進薄膜，并通過隨后的退火處理得到了納米金顆粒，研究了不同襯底、濺射時間、退火溫度機時間對納米金顆粒形成的影響規(guī)律。結果表明，襯底對納米金的形成有顯著的影響，

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關鍵字：直流 濺射 制備