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基體負(fù)偏壓對(duì)CrAlN涂層組織和性能的影響

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采用真空多弧離子鍍技術(shù)，使用Cr30Al70（原子分?jǐn)?shù)）復(fù)合靶，在不同的基體負(fù)偏壓下，在不銹鋼基體上制備了一系列CrAlN涂層；采用能譜儀、X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、粗糙度儀、顯微鏡硬度儀…

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關(guān)鍵字：基體 偏壓 CrAlN